全新日本CKD先導式減壓閥

確認已將本產品的調壓旋鈕向逆時針方向轉到底后，
口壓力。關閉出口側和進口側閥門，低放置10分鐘，確認
內，出口壓力穩(wěn)定后至少放置10分鐘，
請通過打開操作緩慢將進口側供應閥打開，提供進
與過去用焊接接頭構成的系統(tǒng)相比，可大幅節(jié)省空間。
本系統(tǒng)是專為半導體設備供氣管路而開發(fā)的，
體隔板及上閥蓋軸孔部位鑲有銅套，
可減小與O形圈間的摩擦力矩，
密封組件開啟與關閉靈活，操作力矩小。
出口壓力是否上升。順時針轉動
調壓旋鈕，將出口壓力調整到調壓范圍
是一種將按照SEMI標準化的表面安裝型氣控閥
•流量控制器等進行緊湊型集約化的產品。
調整塊和調節(jié)螺釘在兩組密封組件不能
同步到位時可起調整作用，確保各通道密封**同步到位。
再確認出口壓力是否上升。
切合客戶的需求，進行布局
工作時借著閥外的驅動傳動機構轉動驅動軸，
帶動搖拐臂，啟動閥板，使工作流體時而從
左入口通向閥的下部出口，時而從
右入口變換通向下部出口，實現(xiàn)了周期變換流向的目的。